产品描述：
此PT-PECVD是一种分体式管式炉，直径60mm石英管，真空泵和4通道质量流量计气体流动系统。可混合1-4种气体用于PECVD炉，广泛用于生产高品质的SiO2薄膜等。
技术参数：
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型号 |
PT-PECVD |
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显示 |
液晶触摸屏 |
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打开方式 |
分体式和上部可打开 |
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限度温度 |
1200℃短时间 |
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连续工作温度 |
≤1100℃ |
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升温速度 |
建议：0~10℃/min（最大20℃/min） |
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温区 |
400mm |
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加热元件 |
含钼电阻丝 |
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热电偶 |
K型 |
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温度控制 |
±1℃ |
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管尺寸 |
OD60mm x 100mm x 60mm |
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材质：石英管 |
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温度控制 |
通过SCR功率控制进行PID自动控制 |
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加热曲线 |
30步可编程 |
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真空法兰 |
不锈钢真空法兰带阀、进出气口 |
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电压 |
220V，50Hz，单相 |
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定制功能 |
旋转和倾斜 |
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输出功率 |
5 -500W 可调，稳定性 ± 1% |
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射频频率 |
13.56 MHz ±0.005% 稳定性 |
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反射功率 |
最大 200W |
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匹配 |
自动的 |
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噪音 |
<50 分贝。 |
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冷却 |
空气冷却。 |
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涡轮真空泵 |
极限真空2.7*10-3 Pa。 型号：GSP-5 抽速：6L/S 输入电压：500W 额定转速（rpm）：1800 分贝（A）：54 型号：FF-620F 抽速：600L/S 额定转速(rpm)：27000 轴承：陶瓷轴承注油量：150ml 涡轮真空泵将被设计成带轮子的推车。 |
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四台精密质量流量计： MFC 1：气体流量范围为 0~100 sccm MFC 2&3：气体流量范围为 0~100 sccm MFC 4：气体流量范围从 0~100sccm 一个气体混合罐安装在底壳上，带有4个不锈钢针 底壳左侧装有阀门，用于控制4种气体的混合 |
